Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N
- Title
- Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti–Hf–Si–N
- Version
- 1.x
- Pages
- 8
- Size
- 1 MB
- Producer
- Acrobat Distiller 7.0.5 (Windows)
Open in Browser
|
View Pdf in Internal Viewer
|
Download
1 MB
