Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W

doi:10.17223/00213411/66/12/10

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/66/12/10

#высокочастотное магнетронное распыление

#несмешивающиеся металлы

#функциональные покрытия

#электровзрыв

#нанопорошки

Title: Структурные особенности и закономерности формирования мишени для ВЧ-магнетронного распыления из биметаллических частиц Cu–W
Title: Structural features and regularities of the formation of a target for RF magnetron sputtering from W−Cu bimetallic particles
Creator: Просолов, Константин Александрович
|
Ластовка, Владимир Викторович
|
Толмачев, Алексей Иванович
|
Химич, Маргарита Андреевна
|
Сулиз, Константин Владимирович
|
Казанцев, Сергей Олегович
|
Ложкомоев, Александр Сергеевич
|
Шаркеев, Юрий Петрович
Date: 2023
DOI: 10.17223/00213411/66/12/10
Description: Исследован метод синтеза мишеней из порошковых смесей Cu–W, полученных методом электровзрыва. Рассмотрены оптимальные параметры процесса и структурно-фазовый состав полученных мишеней. Основными фазами являются Cu и W с рефлексами фазы Cu2WO4 в мишени с меньшим содержанием W. Показана эрозия мишеней при ВЧ-распылении и изменение формы кластеров в покрытии при увеличении мощности. Ранее исследования в этой области не уделяли должного внимания синтезу мишеней с высоким содержанием W и влиянию параметров процесса на качество получаемых покрытий.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Физико-технический факультет | Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 12. С. 79-85
Language: rus