Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to Quick Collection

Description	Size	Format
Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа	154 KB	Adobe Acrobat PDF	View Details	Download

Title: Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа
Creator: Демкин, Владимир Петрович
Creator: Мельничук, Сергей Васильевич
Creator: Семухин, Борис Семенович
Subject: водородосодержащая плазма
монокристаллический кремний
нанослои
экстремальное изменение удельного сопротивления
наноструктурные комплексы Si-H
Date: 2010
Description: Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Физический факультет
Identifier: koha:001133684
https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133684
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 11/2. С. 33-36
Language: rus

120 Visitors

97 Hits

26 Downloads

Preview

Журналы ТГУ Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа