Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
306 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
Creator
Струнин, Владимир Иванович
Creator
Демин, Алекcандр Сергеевич
Creator
Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Subject
плазма аргон-силановая
осаждение тонких пленок
оптико-эмиссионная спектроскопия
экспериментальные исследования
Date
2011
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Журналы ТГУ
Identifier
koha:001133469
https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133469
Type
статьи в журналах
Source
Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 2. С. 106-108
Language
rus
76 Visitors
67 Hits
10 Downloads
Preview
Журналы ТГУ
Оптико-эмиссионная спектроскопия аргон-силановой плазмы
^ DIV >