Исследование влияния примесей на синтез нанокристаллических слоев нитрида титана из плазмы электродугового разряда

Title

Исследование влияния примесей на синтез нанокристаллических слоев нитрида титана из плазмы электродугового разряда

Version

1.x

Pages

6

Size

368 KB

Producer

Acrobat Distiller 7.0 (Windows)