Кинетика и механизм газофазовой эпитаксии полупроводников типа А III B Y (на примере арсенида галлия) : диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.10.
Авторефераты, диссертации
Кинетика и механизм газофазовой эпитаксии полупроводников типа А III B Y (на примере арсенида галлия) : диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.10.