Влияние электродов на параметры солнечно-слепых детекторов УФ излучения

doi:10.21883/FTP.2021.03.50605.9545

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Влияние электродов на параметры солнечно-слепых детекторов УФ излучения	402 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.21883/FTP.2021.03.50605.9545

Title: Влияние электродов на параметры солнечно-слепых детекторов УФ излучения
Title: Influence of electrode topology on the parameters of solar-blind UV detectors
Creator: Калыгина, Вера Михайловна
|
Цымбалов, Александр Вячеславович
|
Алмаев, Алексей Викторович
|
Петрова, Юлианна Сергеевна
Date: 2021
DOI: 10.21883/FTP.2021.03.50605.9545
Description: Исследовано влияние топологии электродов на электрические и фотоэлектрические характеристики структур металл/полупроводник/металл. Пленки оксида галлия получали высокочастотным магнетронным распылением мишени Ga2O3 на сапфировые подложки с ориентацией (0001). На поверхности оксидных пленок были сформированы два типа электродов: два параллельных электрода, с межэлектродным расстоянием 250 мкм и встречно-штырьевые. В электродах второго типа расстояние между ”пальцами“ составляло 50, 30, 10 и 5 мкм. Независимо от типа контактов структуры обнаруживают чувствительность к ультрафиолетовому излучению с длиной волны = 254 нм. Детекторы второго типа с межэлектродным расстоянием 5мкм демонстрируют наибольшие значения фототока Iph = 3.8 мА и удельную обнаружительную способность D = 5.54 · 1015 см · Гц0.5 · Вт−1.