Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора | 568 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/64/12/3 |