Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия | 685 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/64/2/63 |