Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия

doi:10.17223/00213411/64/2/63

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия	685 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/64/2/63

Title: Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия
Creator: Кулинич, Иван Владимирович
|
Казимиров, Артем Игоревич
|
Шестериков, Евгений Викторович
Date: 2021
DOI: 10.17223/00213411/64/2/63
Description: Представлена технология изготовления Т-образных затворов GaAs-транзисторов с использованием оптической литографии и уникального метода направленного углового напыления тонких алюминиевых пленок. Минимальная длина ножки Т-образного затвора, сформированного по разработанной технологии, составила Lg = 25 нм. GaAs-транзистор с Т-образным затвором, сформированным с использованием углового направленного напыления, продемонстрировал ток насыщения сток-исток IСИ н = 140 мА/мм, напряжение пробоя затвор-сток, по уровню тока IЗС = 50 мкА, составило UЗС проб = 9 В, напряжение отсечки Uотс = 2 В.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 2. С. 63-68
Language: rus