Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы	498 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#магнетронные распылительные системы

Title: Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
Creator: Блейхер, Галина Алексеевна
|
Кривобоков, Валерий Павлович
|
Юрьева, Алена Викторовна
Date: 2015
Description: Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями.