Представлены результаты исследований по формированию глубоких ионно-модифицированных слоев конструкционной стали 40Х с использованием высокоинтенсивного импульсно-периодического пучка ионов азота с плотностью тока до 0.5 А/см². Метод формирования высокоинтенсивных потоков ионов азота низкой энергии основан на плазменно-иммерсионной экстракции ионов с последующей баллистической фокусировкой в эквипотенциальной области дрейфа. Образцы из стали 40Х имплантировали ионами азота с энергией 1.2 кэВ в течение 60 мин при температурах 450, 500, 580 и 650 °С. Исследуются морфология, элементный состав и механические свойства глубоких легированных азотом слоев в стали 40Х.