Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 9-13 октября 2017 года, Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2017. С. 456
Language
rus
792 Visitors621 Hits180 Downloads
Физический факультет
Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением