Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
диффузионные процессы (микроэлектроника)
|
Воробьев, Григорий Абрамович
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Физические основы технологии микросхем
8 MB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Физические основы технологии микросхем : учебное пособие : [для студентов специальностей 0641, 0648, 0705]
Creator
Данилина, Тамара Ивановна
Creator
Воробьев, Григорий Абрамович
Creator
Смирнова, Клара Ивановна
Subject
Микросхемы - Производство - Учебники и пособия
интегральные микросхемы
интегральные микросхемы полупроводниковые
диффузионные процессы (микроэлектроника)
топология микросхем
методы получения рисунка микросхемы
литография интегральных схем
расчет погрешностей
пленочные элементы микросхем
метод свободных масок (микроэлектроника)
метод лучевой обработки (микроэлектроника)
Date
1984
Publisher
Томск : Издательство Томского университета
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Публикации ТГУ
Identifier
vtls:000492393
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000492393
Language
rus
1668 Visitors
1231 Hits
512 Downloads
Preview
Публикации ТГУ
Физические основы технологии микросхем : учебное пособие : [для студентов специальностей 0641, 0648, 0705]
^ DIV >