Представлены морфологические, структурные и оптические свойства наноструктурированных пленок SnO(x), полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии осаждением олова в потоке кислорода на окисленной подложке кремния в зависимости от температуры отжига синтезированной структуры. Установлено влияние температуры отжига на структурное и фазовое состояние пленок. Орторомбическая фаза SnO2 наблюдалась после отжига на воздухе при 500 °C. Увеличение температуры отжига до 800 °C приводит к появлению небольшой доли тетрагональной фазы SnO2. Показано влияние кристаллической структуры на оптические свойства пленок оксидов олова. Методом эллипсометрии обнаружено резкое изменение оптических констант пленки вблизи температуры отжига 500 °C. Наблюдаемая широкая полоса поглощения в диапазоне 1.9–3.4 эВ, по-видимому, связана с незначительным (примерно 1 %) количеством неокисленных металлических кластеров Sn. Наблюдается широкая область фотолюминесценции в диапазоне 450–850 нм с максимумом при ~ 600 нм. Увеличение температуры отжига с 500 до 800 °С приводит к увеличению ее интенсивности почти в 6 раз.