Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
вакуумно-плазменные установки

Add to Quick Collection   All 2 Results

Showing items 1 - 2 of 2.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Effect of vacuum conditions and plasma concentration on the chemical composition and adhesion of vacuum-plasma coatings
Authors: Borisov, Dmitry P. | Kuznetsov, V. M. | Slabodchikov, V. A.
Source: Journal of Physics: Conference Series. 2015. Vol. 652. P. 012020 (1-5)
Type: статьи в журналах
Date: 2015
Description: The paper reports on the chemical composition of titanium nitride (TiN) and silicon (Si) coatings deposited with a new technological vacuum plasma setup which comprises magnetron sputtering systems, a ... More
Add   Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы
Authors: Борисов, Дмитрий Петрович | Кузнецов, Владимир Михайлович (физик) | Романов, Василий Яковлевич | Терехов, Павел Алексеевич | Коротаев, Александр Дмитриевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 62-64
Type: статьи в журналах
Date: 2014
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^