Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Semenyuk, N. S.
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
500 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
Creator
Sochugov, Nikolay S.
Creator
Zakharov, Alexander N.
Creator
Oskirko, V. O.
Creator
Semenov, Vladimir A.
Creator
Semenyuk, N. S.
Creator
Kozyrev, Andrey V.
Contributor
Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы
Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ
Subject
физика плазмы
магнетронные распылительные системы
магнетронные разряды
плазменно-иммерсионная обработка
Date
2012
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Физический факультет
Identifier
vtls:000436741
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000436741
Type
статьи в журналах
Source
Russian physics journal. 2012. Vol. 55, № 2. P. 195-201
Language
eng
1522 Visitors
1524 Hits
5 Downloads
Preview
Физический факультет
Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
^ DIV >