Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников | 901 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/00213411/62/6/125 |