Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
вакуумная гигиена
|
планирование эксперимента
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Основы фотолитографии
1 MB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Основы фотолитографии : учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия]
Creator
Гудымович, Елена Никифоровна
Creator
Гавриленко, Наталия Айратовна
Contributor
Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Subject
электронные учебники
фотолитография
электронная техника
фотохимические реакции
пластины (фотолитография)
загрязнение поверхности пластины (фотолитография)
вакуумная гигиена
фоторезисторы
фотошаблоны
подложки
перенос изображения
фотолитографические процессы плазменные
фотослои
изображения (фотолитография)
полупроводниковое материаловедение
планирование эксперимента
методы оптимизации
физико-химическая обработка
безопасность работы
программы учебных курсов
Date
2009
Publisher
Томск
Description
Загл. с экрана
-
Томск, 2009
-
Получено из издательства
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Химический факультет
Identifier
vtls:000379859
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000379859
Type
учебные издания
Language
rus
2082 Visitors
2160 Hits
16 Downloads
Preview
Химический факультет
Основы фотолитографии : учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия]
^ DIV >