Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
2016

Add to Quick Collection   All 3 Results

Showing items 1 - 3 of 3.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: AIP Conference Proceedings. 2016. Vol. 1783. P. 020209-1-020209-4
Type: статьи в журналах
Date: 2016
Description: The paper presents research results demonstrating the influence of bias on the homogeneity of plasma immersion ion implantation. The research results allow the conclusion that plasma immersion ion imp ... More
Source: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2016. С. 190
Type: статьи в сборниках
Date: 2016
Source: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2016. С. 349-350
Type: статьи в сборниках
Date: 2016
  • «
  • 1
  • »
^