Authors: Бардова, Александра Евгеньевна | Калашников, Марк Петрович | Сергеев, Виктор Петрович

Source: Физика твердого тела : сборник материалов XIV Российской научной студенческой конференции, 13–15 мая 2014 г., Томск, Россия. Томск, 2014. С. 24-27

Type: статьи в сборниках

Date: 2014

Authors: Князева, Анна Георгиевна | Шанин, Сергей Александрович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2010. Т. 53, № 1. С. 76-81

Type: статьи в журналах

Date: 2010

Description: Cформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.