Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием | 521 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |