Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
арсенид галлия
|
Зарубина, Оксана Николаевна
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления
481 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления
Creator
Мокроусов, Геннадий Михайлович
Creator
Зарубина, Оксана Николаевна
Creator
Леоненко, Роман Олегович
Contributor
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Томский государственный университет Химический факультет Публикации студентов и аспирантов ХФ
Subject
полупроводники
химическое травление
арсенид галлия
кислород
фазовый состав
Date
2014
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Химический факультет
Научное управление
Журналы ТГУ
Identifier
vtls:000516419
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516419
Type
статьи в журналах
Source
Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 7/2. С. 96-101
Language
rus
1664 Visitors
1331 Hits
358 Downloads
Preview
Химический факультет
Научное управление
Журналы ТГУ
Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления
^ DIV >