Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета

Add to Quick Collection   All 3 Results

Showing items 1 - 3 of 3.
  • «
  • 1
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 6. С. 111-119
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Изучены свойства тонких пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой кислорода при температурах в диапазоне 80–160 °C. Для каждой температур ... More
  • «
  • 1
  • »
^