Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы

doi:10.17223/00213411/63/10/95

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы	420 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/63/10/95

#ионное распыление

#коэффициенты распыления

#коэффициент отражения

#распылительные системы

Title: Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
Creator: Кузьмичев, Анатолий Иванович (доктор техн. наук)
|
Мельниченко, Михаил Сергеевич
|
Шулаев, Валерий Михайлович
Date: 2020
DOI: 10.17223/00213411/63/10/95
Description: Представлены результаты кинетического моделирования по методу Монте-Карло процесса распыления тяжелых d-металлов группы Ir, Os и W ионами азота N+ в диапазоне энергий ионов 0.5–2.5 кэВ. Получены коэффициенты физического ионного распыления, средние энергии распыленных атомов, коэффициенты отражения бомбардирующих ионов в виде нейтральных атомов азота, глубины проникновения ионов в тело мишени. Выполнены расчеты для одно-, двух- и трехэлементных мишеней. Определены парциальные коэффициенты ионного распыления указанных металлов и изучено влияние величины энергии поверхностной связи на параметры ионного распыления отдельных элементов мишени. Проведены расчеты для мишени из Al для сравнения параметров ионного распыления тяжелых d-металлов и алюминия. Несмотря на сильное различие в значениях энергии поверхностной связи для этих металлов, величины коэффициентов их распыления оказались одного порядка вследствие того, что ионы азота глубже проникают в алюминий и затрудняется выход атомов отдачи наружу из мишени. Исследованы отраженные или обратнорассеянные нейтрализовавшиеся атомы азота. Определен коэффициент отражения бомбардирующих частиц азота от тяжелых металлов и алюминия.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 95-101
Language: rus