Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Распределение концентрации имплантируемой примеси при обработке поверхности последовательными импульсами | 468 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.17223/19988621/62/9 |