Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок
Creator: Сачков, Виктор Иванович
|
Сосновский, Сергей Александрович
|
Жек, Валентина Владимировна
|
Малиновская, Татьяна Дмитриевна
Date: 2018
Description: Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy2O3, DyInO3. Для проведения термодинамического анализа равновесных составов при магнетронном напылении пленок была использована универсальная программа TЕRRA.