Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05.
Resource access is available in the premises of Research Library
Type
диссертации
Language
rus
761 Visitors767 Hits4 Downloads
Авторефераты, диссертации
Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05.