Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана	895 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана
Creator: Юрьев, Юрий Николаевич
|
Михневич, Ксения Сергеевна
|
Бордулев, Юрий Сергеевич
|
Киселева, Дарья Васильевна
|
Новиков, Вадим Александрович
|
Сиделев, Дмитрий Владимирович
Contributor: Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Date: 2014

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Научное управление | Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/2. С. 165-169
Language: rus

Created: 11-09-2015

1494 Visitors

1150 Hits

373 Downloads

Журналы ТГУ Реактивное осаждение электропроводящих пленок нитрида титана