Исследованы особенности формирования структуры тонких кальций-фосфатных плёнок на титане, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления, в процессе термического отжига методом in situ рентгеновской дифрактометрии синхротронного излучения (СИ). Показано, что образование наноструктурированной пленки, соответствующей по данным XRD-анализа поликристаллическому гидроксиапатиту (ГА), происходит при температуре 700–750 °С.