Приведена методика моделирования активной среды на основе XeCl-молекул с учетом процесса регенерации галогеноносителя (HCl, Cl2) и представлены результаты моделирования. Рассмотрено влияние скорости регенерации на эмиссионные характеристики эксиламп емкостного разряда в зависимости от частоты повторения импульсов и общего давления смеси. Показано, что в XeCl-лазере, для того чтобы происходила полная регенерация HCl в смесь, необходимо добавлять водород с парциальным давлением ~ 2 Торр.