Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов.